金属材料の加工に欠くことのできないヒートテクノロジーを生かし、「省エネ・高速・高精度」で各種機械生産のニーズにお応えします。また、半導体・液晶フィルム製造装置や太陽光発電セル製造など新しい分野にも基礎技術の深化・拡張を進め、明日のヒートテクノロジーを切り拓いています。
工業加熱装置分野
浸炭炉、焼結炉、真空焼入炉と、 省エネ、高速、高精度を実現
特長説明詳細
半導体製造装置分野
低COO(コスト オブ オーナーシップ)を実現した300mm,8インチウェハー用バッチ縦型炉や、太陽光発電セル用横型炉。クリーンな環境で高精度な温度制御が可能な炉と様々な半導体製造装置分野のノウハウが優れた製品です。
FPD装置分野
枚葉式クリーンオーブン、真空中での加熱処理が可能な真空乾燥装置などFPD処理用に豊富な種類があります。
電子、科学機器分野
薄物基板の乾燥・焼成に最適連続炉や、あらゆる実験に対応する高い汎用性のある小型電気炉など、電子、科学分野向けの製品です。
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