半導体/液晶/高機能フィルム
| 特長 |
最先端の技術の集積である半導体／液晶や、その構成部材である高機能フィルムは今や私たちの生活になくてはならない存在となっています。またこれら製品の性能は、日々向上しており、製造装置に使用される部品には真空、クリーン、高温、腐食ガスなどの非常に厳しい環境への対応が要求されています。「特殊環境軸受シリーズ セラミック軸受・ＥＸＳＥＶ軸受」は、素材、表面処理、潤滑技術を駆使し、さまざまな厳しい環境に対応するため開発された軸受です。
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| アイテム | ・スパッタ装置・エッチング装置・露光装置・CVD装置・CVD装置の搬送部・搬送真空ロボット・ウェハー洗浄機・フィルム洗浄機・フィルム延伸装置・液晶搬送装置・液晶洗浄搬送部・ワイヤソー |
関連製品 |
・ベアリング（深溝玉軸受、アンギュラ玉軸受、特殊環境用軸受、自動調心ころ軸受）・オイルシール・工作機械・熱処理炉・電子制御機器・コンプレッサー |
